Tungku vakum umumnya terdiri dari mesin utama, ruang tungku, perangkat pemanas listrik, cangkang tungku tertutup, sistem vakum, sistem catu daya, sistem kontrol suhu, dan kendaraan pengangkut eksternal. Cangkang tungku tertutup dilas dari baja karbon atau baja tahan karat, dan permukaan sambungan bagian yang dapat dilepas disegel dengan bahan penyegel vakum. Untuk mencegah cangkang tungku berubah bentuk setelah pemanasan dan bahan penyegel memburuk saat dipanaskan, cangkang tungku umumnya didinginkan dengan air atau pendingin udara. Ruang tungku terletak di dalam cangkang tungku tertutup. Bergantung pada tujuan tungku, ruang tungku dilengkapi dengan berbagai jenis elemen pemanas, seperti resistor, kumparan induksi, elektroda, dan senjata elektron. Tungku vakum untuk peleburan logam dilengkapi dengan wadah peleburan, dan beberapa dilengkapi dengan perangkat penuangan otomatis dan manipulator untuk memuat dan membongkar. Sistem vakum terutama terdiri dari pompa vakum, katup vakum, dan pengukur vakum.