Peralatan untuk pemanasan dalam lingkungan vakum. Ruang tungku disalurkan ke sistem pompa vakum tinggi dalam tungku yang disegel dengan penutup logam atau kaca kuarsa. Derajat vakum tungku dapat mencapai 133×(10-2~10-4)Pa. Sistem pemanas dalam tungku dapat dipanaskan secara langsung dengan pemanasan listrik dari kawat tungku resistansi (seperti kawat tungsten), atau dapat dipanaskan dengan induksi frekuensi tinggi. Suhu maksimum dapat mencapai sekitar 3000 derajat. Ini terutama digunakan untuk pembakaran keramik, peleburan vakum, degassing dan annealing bagian vakum listrik, penyolderan bagian logam, dan penyegelan keramik-logam.